近日，武漢天河機(jī)場迎來了一箱比黃金還要貴重的進(jìn)口設(shè)備!

據(jù)cnBeta、環(huán)球網(wǎng)、快科技等多家媒體證實(shí)，長江存儲從荷蘭阿斯麥(ASML)公司訂購的一臺光刻機(jī)已抵達(dá)武漢。這臺光刻機(jī)價(jià)值高達(dá)7200萬美元，約合人民幣4.6億元。

另據(jù)日經(jīng)亞洲評論(Nikkei Asian Review)上周報(bào)道，中芯國際也向阿斯麥下單了一臺價(jià)值高達(dá)1.2億美元的EUV(極紫外線)光刻機(jī)。這臺機(jī)器預(yù)計(jì)將于2019年初交貨。

每經(jīng)小編注意到，荷蘭當(dāng)?shù)孛襟w《埃因霍溫經(jīng)濟(jì)報(bào)》也證實(shí)了上述消息。

從飛利浦獨(dú)立出來的阿斯麥公司在高端光刻機(jī)領(lǐng)域占據(jù)了全球90%的市場份額。光刻機(jī)(又稱曝光機(jī))是生產(chǎn)大規(guī)模集成電路的核心設(shè)備，對芯片工藝有著決定性的影響。

▲法國研究所暗室中的小型曝光機(jī)

如今，中國兩家企業(yè)先后訂購了兩臺高端光刻機(jī)，總價(jià)值約12.3億元人民幣。據(jù)日經(jīng)亞洲評論報(bào)道，阿斯麥公司有關(guān)人士否認(rèn)有媒體關(guān)于“高端光刻機(jī)對中國大陸禁運(yùn)”的傳聞，強(qiáng)調(diào)對中國大陸客戶一視同仁。

此外，阿斯麥公司接受中芯國際訂單的時間點(diǎn)是在今年4月中興通訊遭遇美國制裁之后。

長江存儲迎來第一臺光刻機(jī)

2016年，紫光集團(tuán)與國家集成電路產(chǎn)業(yè)投資基金、湖北科投等合資成立了長江存儲，注冊資本額為人民幣386億元。長江存儲公司是中國高端芯片聯(lián)盟發(fā)起單位之一，被寄望推動中國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)自主研發(fā)。

　▲長江存儲官網(wǎng)宣傳片截圖

據(jù)快科技等報(bào)道，長江存儲訂購的這臺光刻機(jī)采用193nm沉浸式設(shè)計(jì)，可生產(chǎn)20-14nm工藝的3D NAND閃存晶圓，售價(jià)達(dá)7200萬美元，約合人民幣4.6億元。

目前，該機(jī)已經(jīng)運(yùn)抵武漢天河機(jī)場，相關(guān)入境手續(xù)辦理完畢后，即可運(yùn)至長江存儲的工廠。

根據(jù)官網(wǎng)資料，2016年底，國家存儲器基地項(xiàng)目(一期)一號生產(chǎn)和動力廠房在武漢正式開工建設(shè)，2017年9月底提前封頂，2018年4月5日首批價(jià)值400萬美元的精密儀器進(jìn)場安裝。

　▲國家存儲器基地項(xiàng)目芯片生產(chǎn)機(jī)安裝儀式(圖片來源：長江存儲官網(wǎng))

目前，長江存儲擁有完全自主知識產(chǎn)權(quán)的32層堆疊3D NAND閃存已經(jīng)開始試產(chǎn)，不少產(chǎn)業(yè)鏈企業(yè)都拿到了樣片測試，預(yù)計(jì)今年第四季度量產(chǎn)。同時，長江存儲還在推進(jìn)64層堆疊3D閃存，力爭2019年底實(shí)現(xiàn)規(guī)模量產(chǎn)，將與世界領(lǐng)先水平差距縮短到2年之內(nèi)。

中芯國際進(jìn)軍“7納米”時代

每經(jīng)小編注意到，2000年成立的中芯國際(SMIC)總部位于上海。在港股上市的中芯國際據(jù)稱是中國大陸規(guī)模最大、技術(shù)最先進(jìn)的集成電路芯片制造企業(yè)之一。

據(jù)日經(jīng)亞洲評論報(bào)道，盡管中芯國際在這一市場仍落后于市場領(lǐng)先者兩至三代技術(shù)，但是購買到目前世界最先進(jìn)的EUV光刻機(jī)，彰顯了其努力追趕的決心。

　▲阿斯麥官網(wǎng)產(chǎn)品示意圖

每經(jīng)小編了解到，EUV是目前世界上最昂貴也是最先進(jìn)的芯片生產(chǎn)工具。小于5納米的芯片晶圓，目前只能用EUV光刻機(jī)生產(chǎn)。三星電子和臺積電目前正競爭生產(chǎn)7納米工藝技術(shù)芯片，這兩家都訂購了阿斯麥公司的EUV光刻機(jī)。

中芯國際這次引進(jìn)的EUV光刻機(jī)預(yù)計(jì)將于2019年初交付。而在2017年3月，中芯國際宣布將進(jìn)軍7納米工藝技術(shù)的研發(fā)。

有芯片行業(yè)高管表示，

“購買這樣的機(jī)器雖然不能保證100%成功，但這至少顯示了中芯國際自主研發(fā)的決心和動力。”

光學(xué)研究機(jī)構(gòu)人士表示，

“這臺光刻機(jī)一旦安裝完成，將會極大縮短工藝時長，并且讓廠商有能力嘗試生產(chǎn)更復(fù)雜的高精度芯片。”

　　▲圖片來源：攝圖網(wǎng) (圖文無關(guān))

中芯國際2017年凈利潤為1.264億美元，幾乎全部用于這臺光刻機(jī)的訂購了。2018年一季度，中芯國際凈利潤為2937萬美元。

中芯國際聯(lián)合首席執(zhí)行官趙海軍在5月10日的財(cái)報(bào)電話會議上稱，該公司將2018年芯片生產(chǎn)的全年資本支出從19億美元上調(diào)至23億美元。

光刻機(jī)：摩爾定律“守護(hù)神”

那么，這種無比金貴的光刻機(jī)，到底有什么樣神奇的魔力呢？

光刻機(jī)是生產(chǎn)大規(guī)模集成電路的核心設(shè)備，制造和維護(hù)需要高度的光學(xué)和電子工業(yè)基礎(chǔ)，世界上只有少數(shù)廠家掌握。因此光刻機(jī)的價(jià)格昂貴，通常在3000萬至5億美元不等。

目前，雖然尼康、佳能等對手都在勉力競爭，但是阿斯麥公司掌握了90%以上的高端光刻機(jī)市場份額。最新的兩代高端光刻機(jī)領(lǐng)域，即浸入式(Immersion)和極紫外線式(EUV)光刻機(jī)，全部由阿斯麥掌握核心技術(shù)。

　　▲刻蝕后的晶圓(圖片來源：維 基百科)

光刻機(jī)的作用是掃描曝光芯片晶圓，刻蝕集成電路。精度越高的光刻機(jī)，能生產(chǎn)出納米尺寸更小，功能更強(qiáng)大的芯片。

目前，蘋果iPhone X和iPhone 8系列的核心處理器芯片，采用了臺積電的10納米工藝技術(shù)，而今年即將推出的新款iPhone將使用7納米工藝技術(shù)。阿斯麥的EUV光刻機(jī)，則能生產(chǎn)出5納米工藝級別的芯片。

因此，阿斯麥的光刻機(jī)甚至被稱為“摩爾定律”的守護(hù)神。眾所周知，摩爾定律是指每隔兩年左右一個芯片上的晶體管數(shù)量將翻一番，因此芯片的性能將相應(yīng)提高。

隨著芯片面積越來越小，很多人開始擔(dān)心1965年提出的摩爾定律將要失效。但是光刻機(jī)的更新?lián)Q代，卻還在將芯片工藝推向極致，大體上維持著摩爾定律。

阿斯麥看好中國大陸市場

《瓦森納協(xié)定》是一項(xiàng)由40個國家簽署的協(xié)定，限制締約國向非締約國出售敏感性高科技技術(shù)。

此前曾有一種說法，認(rèn)為最高端的光刻機(jī)技術(shù)受到《瓦森納協(xié)定》影響，被禁止向中國大陸出售。然而，阿斯麥公司發(fā)言人向日經(jīng)新聞駁斥了這一傳聞。

該發(fā)言人表示，阿斯麥公司對全球各地包括中國大陸在內(nèi)的客戶一視同仁，對中國大陸晶圓廠商的出口不受《瓦森納協(xié)定》等任何限制。

　▲圖片來源：攝圖網(wǎng) (圖文無關(guān))

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